IV-CV半导体特性测试4200

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测试速度提高两倍，助力探索创新

4200A-SCS 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪，可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块，可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换，而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是高性能的分析仪，可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。

功能及特点：

特点	优势
将源测量单元、C-V 单元和超快脉冲 I-V 单元无缝结合的一体化系统	快速、清晰和准确地执行 I-V 特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态 I-V 测量
Clarius™ 基于 GUI 的软件，支持触摸或鼠标控制	高级测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能，实现清晰、卓越的测量和分析
内置上下文相关的测量视频和 450 多种应用测试	快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导
I-V 源测量单元 (SMU)	±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块，100 fA 测量分辨率，以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率
C-V 多频率电容单元 (CVU)	交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 频率范围
I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)	在 I-V 和 C-V 测量之间轻松切换或将 C-V 测量移至任何终端，而无需重新布线或抬起探针
脉冲式 I-V 超快脉冲测量单元 (PMU)	两个独立或同步的高速脉冲式 I-V 源和测量通道；200 MSa/s，5 ns 采样率；利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安
高电压脉冲发生器单元 (PGU)	两通道高速脉冲电压源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA
可完全定制和升级	现在或以后均可根据需要随时添加模块